多晶硅生產過程煙氣量大,成分復雜,粉塵顆粒小(0.1~10μm),傳統(tǒng)過濾方式采用金屬粉末燒結材料、多層燒結金屬絲網過濾材料,其普遍存在過濾效率低,攔截效率低等問題。ZSWF-粉氈金屬膜,采用50μm精密過濾層復合400μm支撐層,過濾精度可達0.1μm,滲透效率高于傳統(tǒng)材料5倍以上,可有效代替?zhèn)鹘y(tǒng)粉末燒結多孔材料及燒結金屬絲網多孔過濾材料。
多晶硅生產過程煙氣量大,成分復雜,粉塵顆粒小(0.1~10μm),傳統(tǒng)過濾方式采用金屬粉末燒結材料、多層燒結金屬絲網過濾材料,其普遍存在過濾效率低,攔截效率低等問題。ZSWF-粉氈金屬膜,采用50μm精密過濾層復合400μm支撐層,過濾精度可達0.1μm,滲透效率高于傳統(tǒng)材料5倍以上,可有效代替?zhèn)鹘y(tǒng)粉末燒結多孔材料及燒結金屬絲網多孔過濾材料。